Sub-Half-Micron Lithography for Ulsis
著者 Katsumi Suzuki, Shinji Matsui, Yukinori Ochiai
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| 出版社: | Cambridge University Press |
| 発売日: | 30-Aug-2005 |
| ISBN: | 0521022347 |
| ISBN13: | 9780521022347 |
| 形式: | Paperback |
| 重量: | 717 gms |
| 書誌情報: | pp. 344, 50:B&W 7.44 x 9.69 in or 246 x 189 mm (Crown 4vo) Perfect Bound on White w/Gloss |
書籍タイトル "Sub-Half-Micron Lithography for ULSIs New Edition" 著者 Katsumi Suzuki. こちらの書籍が発行された年 2005. 書籍ＩＳＢＮ番号 0521022347|9780521022347 このタイトルは Paperback バージョンに割り当てられます 書籍の総ページ数 pp. 341 (ページ) この書籍の出版社はこちらです Cambridge University Press.